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Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究 期刊论文
物理学报, 2013, 期号: 24, 页码: 219-225
作者:  赵永蓬;  徐强;  肖德龙;  丁宁;  谢耀;  李琦;  王骐
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极紫外光刻光源  毛细管放电  磁流体力学  Xe等离子体  
极紫外光学元件表面碳污染模型的建立 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 366-372
作者:  鹿国庆;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
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光学器件  极紫外光刻  碳氢化合物污染模型  多层膜光学元件  二次电子  
离子束溅射、热舟和电子束法制备深紫外LaF_3薄膜 期刊论文
激光技术, 2013, 期号: 05, 页码: 592-595
作者:  时光;  梅林;  高劲松;  张立超;  张玲花
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薄膜  Laf3  热蒸发  离子束溅射  深紫外  
微通道板式WSZ位敏阳极探测器的图像拖尾处理 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 09, 页码: 2439-2444
作者:  王晓东;  朱小明;  吕宝林;  鲍海明;  刘文光;  李哲
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极紫外成像仪  图像拖尾  信号叠加  微通道板反馈  
紫外臭氧垂直探测仪(SBUS)辐射定标和反演臭氧垂直廓线验证 期刊论文
气象科技进展, 2013, 期号: 04, 页码: 108-115
作者:  黄富祥;  黄煜;  E.Flynn, Lawrence;  王维和;  曹冬杰;  王淑荣
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定标  风云三号卫星  臭氧垂直廓线  紫外臭氧垂直探测仪  
“LPP-EUV”光源中的高功率CO_2激光监测与控制系统 期刊论文
中国光学, 2013, 期号: 04, 页码: 544-550
作者:  姜振华;  王挺峰;  郭劲
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极紫外光源  Co2激光器  参数监测  指向控制  
紫外环形成像仪图像数据的实时处理(英文) 期刊论文
红外与激光工程, 2013, 期号: S1, 页码: 233-237
作者:  吴伟平;  王栋;  张滨;  孙天宇
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紫外环形成像仪  图像处理  实时  定标  辅助装调  
月基极紫外相机图像采集与实时显示系统 期刊论文
液晶与显示, 2013, 期号: 03, 页码: 435-439
作者:  王永成;  王金玲;  宋克非
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极紫外相机  图像采集  实时显示  Fpga  Usb  
紫外光刻光源设计与分析 期刊论文
机械工程师, 2013, 期号: 06, 页码: 15-16
作者:  谭向全
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紫外光刻光源  散热  快门  位置调节  
非链式脉冲DF激光器放电特性 期刊论文
中国激光, 2013, 期号: 05, 页码: 51-56
作者:  潘其坤;  谢冀江;  阮鹏;  张来明;  谢京江;  李殿军;  邵春雷;  杨贵龙;  谭改娟
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激光器  气体放电  数值模拟  火花针紫外预电离