Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 紫外光刻光源设计与分析 | |
谭向全
| |
| 2013-06-10 | |
| 发表期刊 | 机械工程师
 |
| 期号 | 06页码:15-16 |
| 摘要 | 设计了一种应用于以数字微镜为核心器件的光刻系统中的紫外光刻光源。提出了设计过程中需要注意的散热、快门、位置调节等事项,并针对性的对光源进行了详细设计。 |
| 关键词 | 紫外光刻光源 散热 快门 位置调节 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38930 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谭向全. 紫外光刻光源设计与分析[J]. 机械工程师,2013(06):15-16. |
| APA | 谭向全.(2013).紫外光刻光源设计与分析.机械工程师(06),15-16. |
| MLA | 谭向全."紫外光刻光源设计与分析".机械工程师 .06(2013):15-16. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 紫外光刻光源设计与分析.caj（682KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
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