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| 基于数字微镜器件的中阶梯光栅光谱仪的光学系统设计 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2994-3000
作者: 张锐; 潘明忠; 杨晋; 巴音贺希格; 崔继承
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中阶梯光栅光谱仪 光学设计 数字微镜器件 光电倍增管 |
| 基于正解过程的Risley棱镜光束指向控制精度分析 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 507-513
作者: 张鲁薇 ; 王卫兵; 王锐; 王挺峰; 郭劲
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光束指向 Risley棱镜 控制精度 正解 界定限 |
| 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者: 张德福; 李显凌; 芮大为; 李朋志; 东立剑; 张建国
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集成电路 光刻 投影物镜 波像差 调节机构 主动光学 |
| 大孔径面视场PG成像光谱仪的光学设计 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 335-342
作者: 杨晋; 张锐; 潘明忠; 崔继承
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成像光谱仪 大孔径 面视场 谱线弯曲 色畸变 |
| 基于快速反射镜的自适应控制算法研究 期刊论文
传感器与微系统, 2017, 页码: 16-19
作者: 曹洪瑞; 刘永凯; 张淑梅
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激光通信 光斑抖动 快速反射镜 比例—积分—微分 自适应 |
| 基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 347-355
作者: 张超; 张杰瑞; 王一名; 匡尚奇; 谢耀
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薄膜 多层膜设计 量子进化算法 宽角度极紫外多层膜 |
| 基于位相分布限制衍射光学元件的散斑抑制方法 期刊论文
光子学报, 2017, 页码: 101-107
作者: 梁传样; 张巍; 芮大为; 隋永新; 杨怀江
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衍射光学 散斑抑制 位相调制 衍射光学元件 全息投影显示 |
| Key technology progress of optomechanical systems in 193 nm projection objective 期刊论文
Zhongguo Kexue Jishu Kexue/Scientia Sinica Technologica, 2017, 卷号: 47, 期号: 6
作者: Zhang, D.; X. Li; D. Rui; P. Li; L. Dong and J. Zhang
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| Speckle reduction method with phase range limited diffractive optical element 期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2017, 卷号: 46, 期号: 1
作者: Liang, C.-Y.; W. Zhang; D.-W. Rui; Y.-X. Sui and H.-J. Yang
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| High-performance laser projection display illumination system based on a diffractive optical element 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 10
作者: Liang, C. Y.; W. Zhang; D. W. Rui; Y. X. Sui and H. J. Yang
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