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光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者:  糜小涛;  于海利;  于宏柱;  齐向东;  李晓天;  万秋华
caj(3271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：604/123  |  提交时间：2018/04/09
衍射光栅  阿贝误差  衍射波前  刻线位置误差  刻划机  
Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Mi, X.;  H. Yu;  H. Yu;  X. Qi;  X. Li and Q. Wan
Adobe PDF(3436Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：349/123  |  提交时间：2018/06/13
Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Wang, W.;  S. Jiang;  Y. Song and Bayanheshig
Adobe PDF(4373Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：286/91  |  提交时间：2018/06/13
Online detection of profile deviation for nano precision 2-D stage mirror 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 9
作者:  Liu, Z.-W.;  W.-H. Li;  J.-K. Wang;  S. Jiang;  Y. Song;  M.-Z. Pan and Bayanheshig
Adobe PDF(624Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：312/92  |  提交时间：2017/09/11
Precision analysis of grating replicated mosaic error based on the principle of fraunhofer 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5
作者:  Lu, Y.;  X. Qi;  H. Yu;  X. Li;  S. Zhang;  S. Jiang and L. Yin
浏览  |  Adobe PDF(1613Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：323/107  |  提交时间：2017/09/11
Development and error compensation of the high precision turntable 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2016, 卷号: 37, 期号: 5
作者:  Yao, X.;  C. Sun;  J. Yang;  L. Yin and H. Zhao
Adobe PDF(1139Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：407/149  |  提交时间：2017/09/11
光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 633-638
作者:  张成山;  孟庆孔
caj(242Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：278/65  |  提交时间：2015/04/17
光电式光栅刻划机  衍射光栅干涉仪  莫尔条纹  
光栅刻划系统等速凸轮机构设计 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 5, 页码: 511-515
作者:  宋楠
caj(323Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：252/71  |  提交时间：2015/04/17
等速凸轮  光栅刻划  振动  
光栅刻划机工作台导轨结构形式选择及试验 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 5, 页码: 506-510
作者:  冯树龙
caj(255Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：315/96  |  提交时间：2015/04/17
光栅刻划机  滚柱导轨  爬行  
光栅刻划机导向导轨支撑结构刚度优化设计 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 5, 页码: 495-499
作者:  姚雪峰;  糜小涛;  宋楠
caj(806Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：427/82  |  提交时间：2015/04/17
光栅刻划机  刚度  有限元分析  模态