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干涉测量波面重构DCT算法研究 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 6, 页码: 1012-1018
作者:  王永伟;  艾华;  卓仁善;  曹艳波
caj(544Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：430/138  |  提交时间：2015/04/17
干涉测量  离散余弦变换  相位解包裹  最小二乘法  曲面拟合  
光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 633-638
作者:  张成山;  孟庆孔
caj(242Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：286/67  |  提交时间：2015/04/17
光电式光栅刻划机  衍射光栅干涉仪  莫尔条纹  
大功率VCSEL器件的空间相干性的研究（英文） 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 12, 页码: 39-44
作者:  贾鹏;  秦莉;  崔锦江;  李秀山;  陈泳屹;  张建伟;  张建;  张星;  宁永强
caj(462Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：535/146  |  提交时间：2015/04/17
相干光学  相干特性  双缝干涉  垂直腔面发射半导体激光器  空间相干度  
光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142
作者:  代晓珂;  金春水;  王丽萍;  于杰
caj(1171Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：380/116  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  极紫外光刻  光纤点衍射  球面参考源  偏振控制  
扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  李文昊;  宋莹;  潘明忠
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：360/105  |  提交时间：2015/04/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  相位锁定  光栅周期  刻线误差  
基于多光束干涉的长程轮廓仪 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 3, 页码: 259-265
作者:  李晶;  巩岩;  廖家胜;  张巍
caj(530Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：311/113  |  提交时间：2015/04/17
测量  长程轮廓仪  分束器  多光束干涉  
移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统的设计 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 2, 页码: 318-324
作者:  宋莹;  巴音贺希格;  齐向东;  张宁;  唐玉国
caj(695Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：386/132  |  提交时间：2015/04/17
全息光栅  曝光  莫尔条纹  相位锁定  声光调制器  
双光纤相移点衍射干涉仪装调技术 期刊论文
红外与激光工程, 2014, 期号: 1, 页码: 145-150
作者:  张宇;  金春水;  马冬梅;  王丽萍
caj(413Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：330/99  |  提交时间：2015/04/17
装调技术  双光纤相移点衍射干涉仪  光学系统波像差  光学检测  
长程轮廓仪菲涅耳双棱镜对分束结构 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 1, 页码: 207-212
作者:  廖家胜;  巩岩;  张巍;  李晶;  李春才;  姚长呈;  闵林
caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：309/128  |  提交时间：2015/04/17
测量  长程轮廓仪  分束结构  菲涅耳双棱镜  
Effect of measured interference fringe period error on groove profile of grating masks in scanning beam interference lithography system 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 4
作者:  Jiang S.;  Bayanheshig;  Song Y.;  Pan M.;  Li W.
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