Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于多光束干涉的长程轮廓仪 | |
李晶; 巩岩 ; 廖家胜; 张巍
| |
| 2014-03-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 3页码:259-265 |
| 摘要 | 为提高长程轮廓仪(LTP)面型检测的精度,提出一种使用波面型等光程多光束分束器的LTP。该分束结构可将入射光束分成若干束等光强等光程的相干光。在理论上分析计算了傅里叶变换(FT)透镜焦平面上干涉条纹的位置和强度分布,探究了零级干涉主极大条纹宽度、振幅和±1级干涉主极大条纹振幅与多光束分束器各结构参数之间的关系。通过选取合适的参数设计了基于多光束干涉原理的新型分束器,并与传统分束器进行了仿真实验比较,设计了测量系统中的准直镜和FT透镜,在Zemax软件中建立了完整的光学系统模型,并对该模型进行了实验验证。结果表明多光束干涉长程轮廓仪可以实现对被测表面斜率的测量,其在探测面上的干涉条纹宽度比传统双光束干涉窄,光强也更加集中,可以提高LTP的测量精度。 |
| 文章类型 | 期刊 |
| 关键词 | 测量 长程轮廓仪 分束器 多光束干涉 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42769 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李晶,巩岩,廖家胜,等. 基于多光束干涉的长程轮廓仪[J]. 光学学报,2014(3):259-265. |
| APA | 李晶,巩岩,廖家胜,&张巍.(2014).基于多光束干涉的长程轮廓仪.光学学报(3),259-265. |
| MLA | 李晶,et al."基于多光束干涉的长程轮廓仪".光学学报 .3(2014):259-265. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 基于多光束干涉的长程轮廓仪.caj（530KB） | 开放获取 | ODC PDDL | 浏览 下载 | |||
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