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径向预紧力对反射镜重力变形的补偿作用 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 276-283
作者:  贾树强;  黄玮;  徐象如;  姚长呈
caj(1656Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：318/115  |  提交时间：2017/09/17
光学器件  表面变形  面形补偿  预紧力  有限元方法  
基于Wassermann-Wolf方程的离轴三反光学系统设计 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 12, 页码: 238-243
作者:  徐奉刚;  黄玮;  徐明飞
caj(260Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：265/92  |  提交时间：2017/09/17
光学设计  离轴三反  Wassermann-wolf方程  矩形视场  
光学非球面面形非零位检测的回程误差校正 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 8, 页码: 155-165
作者:  师途;  臧仲明;  刘东;  杨甬英;  种诗尧;  张磊;  白剑;  沈亦兵;  苗亮;  黄玮
caj(441Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：430/111  |  提交时间：2017/09/17
测量  干涉  非球面检测  非零位  回程误差  校正方法  
投影光刻物镜的计算机辅助装调 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 6, 页码: 206-211
作者:  赵菲菲;  唐剑宇;  黄玮;  许伟才
caj(292Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：291/105  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  计算机辅助装调  投影光刻物镜  奇异值分解  畸变  
光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 09, 页码: 235-239
作者:  杨旺;  黄玮;  许伟才;  尚红波
caj(1531Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：539/117  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  杂散光  功率谱密度  公差分析  光刻物镜  
高成像质量光学系统的元件旋转补偿 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 09, 页码: 128-134
作者:  刘春来;  黄玮;  尚红波;  许伟才;  杨旺
caj(3907Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：437/93  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  高成像质量  旋转补偿  材料筛选  波前像差