Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光学加工中真空夹具设计及分析 | |
陈华男 ; 李显凌; 孙振
| |
| 2013-07-25 | |
| 发表期刊 | 真空
 |
| 期号 | 04页码:78-82 |
| 摘要 | 为了在光学加工中快速、可靠地装夹光学元件,设计了真空夹具,对该真空夹具引起光学元件变形量进行了分析。首先,根据光学加工对夹具的要求,应用手动静压快速夹头以及传统真空吸盘结构,设计了真空夹具;接着,对真空夹具引起光学元件变形量进行了仿真分析,并根据分析结果改进了真空夹具结构;最后,针对改进后的真空夹具进行了仿真验证。仿真结果表明:有防护层的真空夹具引起光学元件表面最大变形量在0.1μm～0.32μm之间,是没有防护层的真空夹具引起光学元件表面最大变形量的1/14。该种真空夹具可以应用于高精度光学加工中。 |
| 关键词 | 真空夹具 光学元件 防护层 光学加工 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38291 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈华男,李显凌,孙振. 光学加工中真空夹具设计及分析[J]. 真空,2013(04):78-82. |
| APA | 陈华男,李显凌,&孙振.(2013).光学加工中真空夹具设计及分析.真空(04),78-82. |
| MLA | 陈华男,et al."光学加工中真空夹具设计及分析".真空 .04(2013):78-82. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 光学加工中真空夹具设计及分析.caj（581KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
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