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| 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者: 宋源; 卢启鹏 ; 龚学鹏; 王依; 彭忠琦
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极紫外光刻机 碳污染 清洗技术 多层膜反射镜 |
| 月基极紫外相机多层膜反射镜 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2013, 期号: 01, 页码: 283-286
作者: 刘震; 高劲松; 陈波; 王彤彤; 王笑夷; 申振峰; 陈红
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极紫外 多层膜反射镜 磁控溅射 反射率 等离子体层 |
| 23.4nm软X射线多层膜反射镜研制 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2011, 期号: 04, 页码: 1138-1141
作者: 刘震; 李旭; 马月英; 陈波; 曹健林
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极紫外 多层膜反射镜 磁控溅射 X射线衍射仪 反射率计 |
| Mo/Si多层膜反射镜在带电粒子照射下反射率变化 期刊论文
光学精密工程, 2005, 期号: S1, 页码: 38-41
作者: 陈波; 李忠芳; 尼启良; 齐立红; 王丽辉
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空间辐射环境 Mo/si多层膜反射镜 带电粒子 辐射损伤 |
| 中心波长为28.5nm多层膜镜反射率测量 期刊论文
物理学报, 2003, 期号: 04, 页码: 809-812
作者: 黄文忠; 李英骏; 谷渝秋; 张杰; 尤永禄; 淳于书泰; 何颍玲; 雷安乐; 陈正林; 马月英; 金春水
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X射线多层膜反射镜 反射率测量 X射线激光 |
| 极紫外投影光刻原理装置的集成研究 期刊论文
光学学报, 2002, 期号: 07, 页码: 852-857
作者: 金春水; 马月英; 裴舒; 曹健林
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极紫外 极紫外投影光刻 多层膜反射镜 Schwarzschild物镜 |
| 软X射线投影光刻原理装置的设计 期刊论文
光学精密工程, 2000, 期号: 01, 页码: 66-70
作者: 金春水; 王占山; 曹健林
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软x射线投影光刻 多层膜反射镜 软x射线投影光刻原理装置 激光等离子体光源 |
| C/Al软X射线多层膜反射镜的制备与测量 期刊论文
光学仪器, 1999, 期号: Z1, 页码: 119-122
作者: 吕俊霞; 马月英; 裴舒; 曹健林
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软x射线 多层膜反射镜 |
| 28.4nm和30.4nm波段的C/Si多层膜 期刊论文
光学仪器, 1999, 期号: Z1, 页码: 200-203
作者: 王国田; 马月英; 曹健林
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X射线光学 多层膜反射镜 离子束溅射 |
| X光多层膜反射镜的损伤与破坏 期刊论文
中国核科技报告, 1999, 期号: 00, 页码: 954-965
作者: 淳于书泰; 谷渝秋; 尤永禄; 黄文忠; 何颍玲; 马月英; 裴舒; 曹健林
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Mo/si多层膜反射镜:9372 双程放大:2468 X光:1246 反射率:1169 中国工程物理研究院:1067 等离子体喷射:832 界面粗糙度:710 表面状态:605 表面粗糙度:520 等离子体发射:415 |
