Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 极紫外投影光刻原理装置的集成研究 | |
金春水 ; 马月英; 裴舒; 曹健林
| |
| 2002-07-17 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 07页码:852-857 |
| 关键词 | 极紫外 极紫外投影光刻 多层膜反射镜 Schwarzschild物镜 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29282 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金春水,马月英,裴舒,等. 极紫外投影光刻原理装置的集成研究[J]. 光学学报,2002(07):852-857. |
| APA | 金春水,马月英,裴舒,&曹健林.(2002).极紫外投影光刻原理装置的集成研究.光学学报(07),852-857. |
| MLA | 金春水,et al."极紫外投影光刻原理装置的集成研究".光学学报 .07(2002):852-857. |
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| 极紫外投影光刻原理装置的集成研究.caj（104KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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