Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 软X射线投影光刻原理装置的设计 | |
金春水 ; 王占山; 曹健林
| |
| 2000-02-29 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 01页码:66-70 |
| 关键词 | 软x射线投影光刻 多层膜反射镜 软x射线投影光刻原理装置 激光等离子体光源 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30711 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金春水,王占山,曹健林. 软X射线投影光刻原理装置的设计[J]. 光学精密工程,2000(01):66-70. |
| APA | 金春水,王占山,&曹健林.(2000).软X射线投影光刻原理装置的设计.光学精密工程(01),66-70. |
| MLA | 金春水,et al."软X射线投影光刻原理装置的设计".光学精密工程 .01(2000):66-70. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 软X射线投影光刻原理装置的设计.caj（116KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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