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浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究 学位论文
硕士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  毕丹丹
caj(4243Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：216/0  |  提交时间：2019/09/23
光学薄膜  浸没式光刻  大角度保偏膜系  浸液环境寿命  激光辐照寿命  
基于表面等离激元的硅基微结构材料红外光学特性研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  刘小翼
caj(8776Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1219/0  |  提交时间：2019/09/23
表面等离极化激元  法布里-珀罗谐振  损耗抑制  场增强  红外吸收  
Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:  Kuang, Shang-Qi;  Li, Shuo;  Yang, Hai-Gui;  Huo, Tong-Lin;  Zhou, Hong-Jun
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Multilayers  Extreme ultraviolet lithography  Fabrication  Mirrors  Reflection  
基于表面等离子体激元的纳米结构超吸收特性研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  李强
caj(10497Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：160/0  |  提交时间：2019/09/23
表面等离子体激元  超吸收  金属微纳结构  电磁波时域有限差分  
铝合金反射镜面形精度与表面质量提升关键技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  李兴昶
caj(8286Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：215/0  |  提交时间：2019/09/23
单点金刚石车削  铝合金反射镜  电容位移传感器  原位检测  补偿切削  非牛顿流体磨盘  机械化学抛光  平滑效应  中高频误差抑制  
Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
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Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 03, 页码: 588-596
作者:  沈晨;  谭鑫;  朱继伟;  张伟;  齐向东
收藏  |  浏览/下载：228/0  |  提交时间：2019/09/17
衍射光栅  曲面闪耀光栅  光栅刻蚀  三维工作台  圆弧拟合算法  轨迹误差  
Trajectory-fitting and testing error analysis of stage for curved grating etching 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 588-596
作者:  Shen, Chen;  Tan, Xin;  Zhu, Ji-Wei;  Zhang, Wei;  Qi, Xiang-Dong
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Curve fitting  Diffraction gratings  Errors  Etching  
Effect and compensate of grating curvature radius error in Seya-Namioka monochromator 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 4, 页码: 623-629
作者:  Meng, Zhu;  Tan, Xin;  Bayanheshig;  Wang, Wei;  Liu, Zhao-Wu;  Zhao, Xu-Long
Adobe PDF(2762Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：329/93  |  提交时间：2019/09/17
Error compensation  Monochromators  Ray tracing  
Experimental Study on Micro Quantitative Phase Imaging by Quadriwave Shearing Interferometry 期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2018, 卷号: 47, 期号: 7
作者:  Cui, Bo-Chuan;  Wang, Jian-Li;  Yao, Kai-Nan;  Chen, Tao
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Interferometry  Fast Fourier transforms  Interferometers  MEMS  Phase measurement  Phase modulation  Shearing  Wavefronts