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应用于空间惯性传感器的压电驱动器的性能测试 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 02, 页码: 344-353
作者:  李华东;  齐克奇;  石强;  王少鑫;  王智
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精密驱动  尺蠖运动  压电驱动器  驱动力  位移分辨率  
Performance test of piezoelectric actuators for space inertial sensors 期刊论文
Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 2, 页码: 344-353
作者:  H.-D. Li,K.-Q. Qi,Q. Shi,S.-X. Wang and Z. Wang
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压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  李朋志
caj(10011Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：146/0  |  提交时间：2020/08/24
光刻物镜  压电促动器  迟滞  模糊  运动控制  像差补偿  
铝合金反射镜面形精度与表面质量提升关键技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  李兴昶
caj(8286Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：201/0  |  提交时间：2019/09/23
单点金刚石车削  铝合金反射镜  电容位移传感器  原位检测  补偿切削  非牛顿流体磨盘  机械化学抛光  平滑效应  中高频误差抑制  
电容传感器线性度标定平台 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 143-151
作者:  张德福;  葛川;  李显凌;  倪明阳;  郭抗
caj(1959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：287/90  |  提交时间：2017/09/17
电容传感器  线性度标定  标定平台  柔度矩阵  
Linearity calibration platform of capacitive sensors 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 1
作者:  Zhang, D.-F.;  C. Ge;  X.-L. Li;  M.-Y. Ni and K. Guo
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调幅式电容位移传感器开关检波电路设计 期刊论文
传感器与微系统, 2015, 期号: 05, 页码: 85-87+91
作者:  冯佳;  李佩玥;  徐立松;  尹志生;  隋永新
caj(415Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：376/94  |  提交时间：2016/07/06
电容位移传感器  调幅  交流激励  检波电路  
高精度位移传感器线性度标定方法研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 05, 页码: 982-988
作者:  张德福;  葛川;  李显凌;  倪明阳;  郭抗;  李朋志
caj(686Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：302/82  |  提交时间：2016/07/06
传感器  标定  线性度  柔度矩阵  
Linearity calibration method of the high-precision displacement sensor 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 卷号: 36, 期号: 5, 页码: 982-988
作者:  Zhang, D.;  C. Ge;  X. Li;  M. Ni;  K. Guo and P. Li
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极微小电容的检测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  冯佳
Adobe PDF(1873Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：358/2  |  提交时间：2015/05/03
电容传感器  电容检测  交流激励式  电容桥  开关检波