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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 张璐 caj(6271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:153/0  |  提交时间:2020/08/24 光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| Development and measurement of a parallel-type self-decoupling 2-dimension micro-motion stage 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 7 作者: Qi, K.-Q.; Y. Xiang; Y.-L. Ding; C. Fang and Z.-P. Zhou 浏览  |  Adobe PDF(644Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:327/95  |  提交时间:2018/06/13 |
| 十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法 期刊论文 中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187 作者: 方超; 向阳 caj(603Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:355/91  |  提交时间:2015/04/17 测量 横向剪切干涉仪 相移算法 相位复原 |
| S-H波前传感器在计算机辅助装调中的应用研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2013 作者: 赵菲菲 Adobe PDF(2200Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:411/1  |  提交时间:2014/03/15 计算机辅助装调 S-h波前传感器 投影光刻物镜 质心探测精度 阈值选取 |
| 基于FPGA的SPGD自适应光学控制平台研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2013 作者: 张超 Adobe PDF(2450Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:275/1  |  提交时间:2014/03/15 Spgd 自适应光学 Fpga 硬件设计 |
| 基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计 期刊论文 电子测量与仪器学报, 2013, 期号: 11, 页码: 1099-1104 作者: 于长淞; 齐克奇; 张春雷; 向阳 caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:454/123  |  提交时间:2014/03/07 剪切干涉 光栅移相 压电陶瓷 有限元 |
| 数字横向剪切干涉仪相移技术 期刊论文 光学精密工程, 2013, 期号: 09, 页码: 2244-2251 作者: 何煦; 向阳 caj(1178Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:423/110  |  提交时间:2014/03/07 光学测量 波像差 相移式干涉仪 剪切干涉仪 柔性铰链 |