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量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4
作者:  梅雪峰;  匡尚奇;  谢耀
caj(1233Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：346/169  |  提交时间：2017/09/17
Euv多层膜  量子进化算法  膜系设计  
极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠
收藏  |  浏览/下载：252/0  |  提交时间：2017/09/17
薄膜  极紫外光刻  宽带多层膜  Mo/si多层膜  
Image quality evaluation of Wolter X-ray nested telescope 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 3
作者:  Zhao, D.;  B. Chen;  P. Liu and L. He
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Optical design of high-numerical aperture lithographic lenses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 4
作者:  Xu, M.-F.;  W.-B. Pang;  X.-R. Xu;  X.-H. Wang and W. Huang
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Measurement of transversal magnification for reduced projection system 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 1
作者:  Xie, Y.;  L.-P. Wang;  B.-Y. Guo;  J. Wang;  L. Miao;  H. Wang and F. Zhou
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Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4
作者:  Yu, B.;  C. Li;  C. Jin and C. Wang
Adobe PDF(1342Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：323/64  |  提交时间：2017/09/11