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| Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11
作者: Song, Y.; Q.-P. Lu; X.-P. Gong; Y. Wang and Z.-Q. Peng
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| Radiation calibration of EUV space cameras 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5
作者: He, L.-P. ; B. Chen; H.-J. Zhang; S.-J. Liu and X.-G. Wang
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| 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272
作者: 王辉; 周烽; 喻波; 谢耀; 于杰; 刘钰; 王丽萍
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测量 光刻技术 有限元分析 高复现性支撑装置 薄膜均匀性测量 |
| Measurement of thickness uniformity of optic multilayer based on surface figure measurement 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 7
作者: Wang, H.; F. Zhou; B. Yu; Y. Xie; J. Yu; Y. Liu and L. Wang
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| InGaAs/GaAs异质结材料的MOCVD生长及性质研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 韩智明
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金属有机化合物化学气相淀积 两步生长法 铟镓砷 砷化镓 缓冲层 |
| 用于空间太阳望远镜的双波段极紫外反射镜 期刊论文
光电子.激光, 2014, 期号: 7, 页码: 1298-1302
作者: 刘震
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极紫外(Euv) 双波段多层膜 太阳望远镜 反射率 磁控溅射 |
| 远紫外感应式阳极光子计数成像探测器研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 韩素立
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| AlxGa1-xN和AlN/GaN材料的MOCVD生长与器件研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 陈一仁
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| 球面微通道板在极紫外波段的量子探测效率 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 11, 页码: 2596-2602
作者: 尼启良; 陈斌; 王海峰
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| 23.4nm软X射线多层膜反射镜研制 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2011, 期号: 04, 页码: 1138-1141
作者: 刘震; 李旭; 马月英; 陈波; 曹健林
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极紫外 多层膜反射镜 磁控溅射 X射线衍射仪 反射率计 |
