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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
 caj(6271Kb) |  收藏 | 浏览/下载：153/0 | 提交时间：2020/08/24
光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| Reflective Static Fourier Spectrometer Optical System Based on Double Right-Angle Beam Splitter 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 8
作者: Li, W.; Q. Lu; Y. Song and X. Yu
 浏览 |  Adobe PDF(1091Kb) | 收藏 | 浏览/下载：294/105 | 提交时间：2018/06/13 |
| Development and measurement of a parallel-type self-decoupling 2-dimension micro-motion stage 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 7
作者: Qi, K.-Q. ; Y. Xiang; Y.-L. Ding; C. Fang and Z.-P. Zhou
浏览 | Adobe PDF(644Kb) | 收藏 | 浏览/下载：327/95 | 提交时间：2018/06/13 |
| Error analysis and eliminate methods for wavefront detection based on phase diversity algorithm 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 1
作者: Yue, D.; S. Xu; H. Nie; H. Ma and N. Liu
浏览 | Adobe PDF(8658Kb) | 收藏 | 浏览/下载：237/45 | 提交时间：2017/09/11 |
| Absolute testing of interferometer wavefront using cat's-eye test 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 12
作者: Su, D.; E. Miao; Y. Qu and Y. Sui
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| 剪切干涉仪精密相移系统的研制 期刊论文
国外电子测量技术, 2014, 期号: 12, 页码: 57-60
作者: 于长淞; 代雷
caj(439Kb) | 收藏 | 浏览/下载：369/101 | 提交时间：2015/04/17
相移干涉 精密相移系统 压电陶瓷驱动器 柔性铰链 闭环控制 |
| 四棱锥波前传感技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 张彦夫
Adobe PDF(2185Kb) | 收藏 | 浏览/下载：443/2 | 提交时间：2015/05/03
自适应光学 波前传感 四棱锥传感器 数值仿真 |
| 差分五棱镜扫描法在大口径波前检测中的应用 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 汤兆鑫
Adobe PDF(5705Kb) | 收藏 | 浏览/下载：364/2 | 提交时间：2015/05/03
测量 波前检测 差分五棱镜扫描法 误差分析 |
| 基于焦面图像信息的波前探测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 马鑫雪
Adobe PDF(2716Kb) | 收藏 | 浏览/下载：394/1 | 提交时间：2014/08/21 |
| 十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187
作者: 方超; 向阳
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测量 横向剪切干涉仪 相移算法 相位复原 |
