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Development and measurement of a parallel-type self-decoupling 2-dimension micro-motion stage 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 7
作者:  Qi, K.-Q.;  Y. Xiang;  Y.-L. Ding;  C. Fang and Z.-P. Zhou
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剪切干涉仪精密相移系统的研制 期刊论文
国外电子测量技术, 2014, 期号: 12, 页码: 57-60
作者:  于长淞;  代雷
caj(439Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：361/96  |  提交时间：2015/04/17
相移干涉  精密相移系统  压电陶瓷驱动器  柔性铰链  闭环控制  
基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2013, 期号: 11, 页码: 1099-1104
作者:  于长淞;  齐克奇;  张春雷;  向阳
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：448/120  |  提交时间：2014/03/07
剪切干涉  光栅移相  压电陶瓷  有限元