Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 剪切干涉仪精密相移系统的研制 | |
于长淞 ; 代雷
| |
| 2014-12-15 | |
| 发表期刊 | 国外电子测量技术 |
| 期号 | 12页码:57-60 |
| 摘要 | 设计了一种用于迈克尔逊干涉仪横向剪切相移测量的精密相移系统。该系统采用压电陶瓷驱动器作为驱动元件,通过柔性铰链平移机构推动反射镜实现无摩擦、无间隙微位移。采用电容传感器进行位移反馈测量,利用单片机系统作为中央处理器进行PID闭环控制以实现高精度相移。对相移系统的行程及定位精度进行了测试,当输入阶跃位移信号为80nm时,相移系统输出位移精度小于3nm。当相移系统连续位移2μm,每步位移为80nm时,其输出位移的定位精度小于5nm。实验结果表明,相移系统的行程与定位精度满足剪切干涉仪设计要求。 |
| 关键词 | 相移干涉 精密相移系统 压电陶瓷驱动器 柔性铰链 闭环控制 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43178 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 于长淞,代雷. 剪切干涉仪精密相移系统的研制[J]. 国外电子测量技术,2014(12):57-60. |
| APA | 于长淞,&代雷.(2014).剪切干涉仪精密相移系统的研制.国外电子测量技术(12),57-60. |
| MLA | 于长淞,et al."剪切干涉仪精密相移系统的研制".国外电子测量技术 .12(2014):57-60. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 剪切干涉仪精密相移系统的研制.caj（439KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
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