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| Profile online detection for two-dimensional stage x axis mirror in scanning exposure systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 1
作者: Liu, Z. ; W. Li; Bayanheshig; Y. Song; S. Jiang; X. Li and Q. Lu
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| 纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者: 刘兆武; 李文昊; 王敬开; 姜珊; 宋莹; 潘明忠; 巴音贺希格
 caj(466Kb) | 收藏 | 浏览/下载：348/97 | 提交时间：2017/09/17
激光干涉仪 纳米二维工作台 测量镜 面形误差 在线检测 |
| 大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071
作者: 陈琦
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扫描干涉光刻系统 高精度工作台 气体静压导轨 摩擦驱动 纳米级定位 |
| 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者: 刘兆武; 李文昊; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 李晓天; 吕强
caj(310Kb) | 收藏 | 浏览/下载：284/74 | 提交时间：2018/04/09
测量 光检测技术 二维工作台 测量镜面形 光栅 激光干涉仪 |
| Online detection of profile deviation for nano precision 2-D stage mirror 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 9
作者: Liu, Z.-W.; W.-H. Li; J.-K. Wang; S. Jiang; Y. Song; M.-Z. Pan and Bayanheshig
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| Structure design of nanometer positioning stage with a large stroke 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5
作者: Chen, Q.
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| 二维工作台正交性检测 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 720-722
作者: 陈琦
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正交性 电容测微仪 多齿分度盘 平晶 |
| 全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 宋莹
Adobe PDF(5623Kb) | 收藏 | 浏览/下载：500/2 | 提交时间：2015/05/03
全息光栅曝光 扫描干涉场曝光 干涉条纹 移频式 静态相位锁定 动态相位锁定 Aom |
