Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 二维工作台正交性检测 | |
| 陈琦 | |
| 2014-12-15 | |
| 发表期刊 | 长春工业大学学报(自然科学版)
 |
| 期号 | 6页码:720-722 |
| 摘要 | 应用非接触式电容测微仪以及平晶与多齿分度盘组合,检测二维工作台的正交性。调试为下层台200mm、上层台300mm行程时的正交性小于±0.5″,满足要求。 |
| 关键词 | 正交性 电容测微仪 多齿分度盘 平晶 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43632 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈琦. 二维工作台正交性检测[J]. 长春工业大学学报(自然科学版),2014(6):720-722. |
| APA | 陈琦.(2014).二维工作台正交性检测.长春工业大学学报(自然科学版)(6),720-722. |
| MLA | 陈琦."二维工作台正交性检测".长春工业大学学报(自然科学版) .6(2014):720-722. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 二维工作台正交性检测.caj（193KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
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