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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [7]
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2016 [7]
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专题:中科院长春光机所知识产出
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发表日期:2016
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光子计数成像探测器电荷感应层Ge薄膜特性研究
期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4, 页码: 38-41
作者:
郑鑫
;
陈波
;
王孝东
;
张宏吉
;
李云鹏
;
于再超
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提交时间:2017/09/17
Ge薄膜
直流磁控溅射
Ar气通入量
沉积速率
电学性质
2m大口径RB-SiC反射镜的磁控溅射改性
期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 7, 页码: 1557-1563
作者:
刘震
;
高劲松
;
刘海
;
王笑夷
;
王彤彤
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浏览/下载:422/106
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提交时间:2017/09/17
光学加工
磁控溅射
表面改性
Rb-sic
大口径
大口径反射镜高反射膜研究进展
期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 2, 页码: 203-212
作者:
孙梦至
;
王彤彤
;
王延超
;
刘震
;
刘海
;
王笑夷
;
杨海贵
;
高劲松
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浏览/下载:360/82
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提交时间:2017/09/17
大口径
反射镜
高反射膜
环境适应性
极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备
期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:
喻波
;
李春
;
金春水
;
王春忠
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浏览/下载:252/0
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提交时间:2017/09/17
薄膜
极紫外光刻
宽带多层膜
Mo/si多层膜
Miniaturized VCSEL pulsed laser source with high peak power at 980 nm
期刊论文
Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2016, 卷号: 35, 期号: 5
作者:
Gao, S. J.
;
X. Zhang
;
J. W. Zhang
;
J. Zhang
;
Y. Q. Ning
;
J. Wu
;
L. Qin
;
C. Z. Tong and L. J. Wang
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提交时间:2017/09/11
Surface modification of 2 m RB-SiC substrate by magnetron sputtering
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 7
作者:
Liu, Z.
;
J.-S. Gao
;
H. Liu
;
X.-Y. Wang and T.-T. Wang
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提交时间:2017/09/11
Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4
作者:
Yu, B.
;
C. Li
;
C. Jin and C. Wang
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提交时间:2017/09/11