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光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  代晓珂
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光学检测  极紫外光刻  波面参考源  偏振控制  
深紫外光学薄膜激光辐照特性研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  赵灵
Adobe PDF(3284Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：395/1  |  提交时间：2015/05/03
深紫外  光学薄膜  吸收  激光量热法  
调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 7, 页码: 291-298
作者:  张德福;  李显凌
caj(743Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：435/88  |  提交时间：2015/04/17
光学器件  深紫外光刻  投影物镜  像差补偿  偏心调节机构  调节力  面形