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分体式超大口径空间遥感器技术及其发展 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 06, 页码: 1287-1298
作者:  杨会生;  张学军;  李志来;  鲍赫;  樊延超
收藏  |  浏览/下载：324/0  |  提交时间：2019/09/17
空间遥感器  超大口径  分体自重组系统  空间装调系统  空间制造系统  
Design of miniaturization and super wide angle monitor lens based on monocentric lens 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2018, 卷号: 47, 期号: 12
作者:  Meng, Xiangyue;  Wang, Yang;  Zhang, Lei;  Fu, Yuegang;  Gu, Zhiyuan;  Lv, Yaowen
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Lenses  Diffraction  Image quality  Miniature instruments  Monitoring  Optical design  Optical systems  
Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:  Kuang, Shang-Qi;  Li, Shuo;  Yang, Hai-Gui;  Huo, Tong-Lin;  Zhou, Hong-Jun
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Multilayers  Extreme ultraviolet lithography  Fabrication  Mirrors  Reflection  
大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  糜小涛
caj(5660Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：177/0  |  提交时间：2019/09/23
衍射光栅  光栅刻划机  微定位系统  控制器设计  刻线误差  测量系统  余弦误差  阿贝误差  大气折射率  衍射波前  基底面形误差  镀膜均匀性  
Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
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Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
揭秘“精密机械之王” 期刊论文
中国基础科学, 2018, 期号: 02, 页码: 48-52+62
作者:  唐玉国;  巴音贺希格;  竺长安;  金一
收藏  |  浏览/下载：251/0  |  提交时间：2019/09/17
大面积光栅  刻划光栅  光栅刻划机  超精密制造  
Design and Fabrication of Broadband Discrete Extreme-ultraviolet Multilayer Based on Quantum State Genetic Algorithm 期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2018, 卷号: 47, 期号: 4
作者:  Kuang, Shang-Qi;  Zhang, Chao;  Li, Shuo;  Yang, Hai-Gui;  Huo, Tong-Lin;  Zhou, Hong-Jun
浏览  |  Adobe PDF(1699Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：482/118  |  提交时间：2019/09/17
Quantum theory  Fabrication  Genetic algorithms  Magnetron sputtering  Multilayers  Reflection  
Sensitivity analysis of different scan arcs for swing arm profilometer test 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2018, 卷号: 47, 期号: 2
作者:  Xiong, Ling;  Luo, Xiao;  Qi, Erhui;  Zhang, Feng;  Xue, Donglin;  Zhang, Xuejun
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Testing  Aspherics  Errors  Monte Carlo methods  Profilometry  Sensitivity analysis  
Fabrication and testing of large aspheric system based on common reference 期刊论文
Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 4, 页码: 743-748
作者:  Wang Xiao-kun, 王孝坤;  Xue Dong-lin, 薛栋林;  Zhang Xue-jun, 张学军
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Optical testing  Aspherics  Fabrication  Ion beams  Mirrors  
残余应力与基底效应对光栅厚铝膜纳米压痕耦合影响研究 期刊论文
制造技术与机床, 2018, 期号: 06, 页码: 58-62
作者:  张宝庆;  王占鹏;  庞壮;  韦赟杰;  孙立华;  高劲松
收藏  |  浏览/下载：200/0  |  提交时间：2019/09/17
残余应力  基底效应  纳米压痕  衍射光栅