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| 光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文 中国激光, 2017, 页码: 148-156 作者: 糜小涛; 于海利; 于宏柱; 齐向东; 李晓天; 万秋华 caj(3271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:715/127  |  提交时间:2018/04/09 衍射光栅 阿贝误差 衍射波前 刻线位置误差 刻划机 |
| 碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响 期刊论文 中国激光, 2017, 页码: 170-175 作者: 王依; 卢启鹏; 高云国 caj(173Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:348/120  |  提交时间:2018/04/09 薄膜 极紫外光刻 碳污染 清洗技术 反射率 |
| 移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定 期刊论文 中国激光, 2017, 页码: 233-240 作者: 宋莹; 赵旭龙; 姜岩秀; 巴音贺希格; 齐向东 caj(373Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:436/130  |  提交时间:2018/04/09 全息 全息光栅 干涉条纹锁定 分束光栅 叠栅条纹 |
| 紧凑型中红外固体激光器散热性能分析 期刊论文 中国激光, 2017, 页码: 26-31 作者: 张阔; 于德洋; 何洋; 潘其坤; 陈飞; 李殿军 caj(159Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:417/109  |  提交时间:2018/04/09 激光器 固体激光器 温度分布 强制对流散热 热管 |
| 基于量子衍生遗传算法的光学薄膜结构分析 期刊论文 中国激光, 2017, 页码: 137-144 作者: 周祥燕; 张超; 匡尚奇; 龚学鹏; 杨海贵 caj(2225Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:375/131  |  提交时间:2018/04/09 薄膜 薄膜表征 量子衍生遗传算法 掠入射x射线反射 |
| 氧气A吸收带偏最小二乘基线拟合方法 期刊论文 中国激光, 2017, 页码: 287-293 作者: 李晋华; 张敏娟; 张德龙 caj(472Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:317/130  |  提交时间:2018/04/09 光谱学 氧气a带 基线拟合 偏最小二乘回归 拟合不确定度 |