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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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研究单元&专题
中科院长春光机所知识... [7]
作者
王汝冬 [1]
文献类型
期刊论文 [7]
发表日期
2016 [2]
2014 [2]
2013 [3]
语种
中文 [7]
出处
光电工程 [2]
中国光学 [1]
中国激光 [1]
仪器仪表学报 [1]
光学精密工程 [1]
电子测量与仪器学报 [1]
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CNKI [3]
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深紫外光刻投影物镜温度特性研究
期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285
作者:
姚长呈
;
巩岩
caj(1486Kb)
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浏览/下载:348/134
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提交时间:2017/09/17
光学制造
光刻投影物镜
温度分布模型
仿真分析
热像差
掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响
期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 3, 页码: 469-476
作者:
杨旺
;
黄玮
;
尚红波
caj(1563Kb)
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浏览/下载:271/89
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提交时间:2017/09/17
光刻
光学设计
光刻投影物镜
畸变
勒让德多项式
公差分析
光刻投影物镜整体式XY微调整机构设计
期刊论文
电子测量与仪器学报, 2014, 期号: 7, 页码: 787-794
作者:
张德福
;
孙振
caj(302Kb)
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浏览/下载:215/65
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提交时间:2015/04/17
光刻投影物镜
位移缩小机构
完全解耦
波像差
基于柔度矩阵法的整体式XY光学微调整机构研究
期刊论文
仪器仪表学报, 2014, 期号: 2, 页码: 269-275
作者:
张德福
;
赵磊
caj(660Kb)
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浏览/下载:290/71
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提交时间:2015/04/17
光刻投影物镜
微调整机构
光机结构
波像差
光刻物镜高精度挠性结构镜框设计及分析
期刊论文
光电工程, 2013, 期号: 07, 页码: 39-43
作者:
华洋洋
;
巩岩
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浏览/下载:397/118
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提交时间:2014/03/07
光学器件
光刻投影物镜
支撑结构
结构优化
有限元
支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响
期刊论文
中国光学, 2013, 期号: 01, 页码: 57-63
作者:
王平
;
田伟
;
王汝冬
;
王立朋
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浏览/下载:371/126
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提交时间:2014/03/07
光学设计
光刻投影物镜
波前畸变
应力双折射
融石英
元件支撑
光刻投影物镜中柔性多弹片支撑方式的性能分析
期刊论文
光电工程, 2013, 期号: 02, 页码: 71-75
作者:
彭海峰
;
巩岩
;
赵磊
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浏览/下载:385/87
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提交时间:2014/03/07
光刻投影物镜
多弹片支撑结构
自重变形
面形分析