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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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研究单元&专题
中科院长春光机所知识... [6]
作者
杨海贵 [2]
文献类型
期刊论文 [8]
发表日期
2018 [2]
2017 [4]
2014 [1]
1997 [1]
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中文 [5]
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Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:
Kuang, Shang-Qi
;
Li, Shuo
;
Yang, Hai-Gui
;
Huo, Tong-Lin
;
Zhou, Hong-Jun
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提交时间:2019/09/17
Multilayers
Extreme ultraviolet lithography
Fabrication
Mirrors
Reflection
Design and Fabrication of Broadband Discrete Extreme-ultraviolet Multilayer Based on Quantum State Genetic Algorithm
期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2018, 卷号: 47, 期号: 4
作者:
Kuang, Shang-Qi
;
Zhang, Chao
;
Li, Shuo
;
Yang, Hai-Gui
;
Huo, Tong-Lin
;
Zhou, Hong-Jun
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提交时间:2019/09/17
Quantum theory
Fabrication
Genetic algorithms
Magnetron sputtering
Multilayers
Reflection
改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用
期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者:
匡尚奇
;
张超
;
王一名
;
周祥燕
;
谢耀
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提交时间:2018/04/09
薄膜光学
多层膜设计
改进型量子进化算法
宽带极紫外多层膜
基于量子衍生遗传算法的光学薄膜结构分析
期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 137-144
作者:
周祥燕
;
张超
;
匡尚奇
;
龚学鹏
;
杨海贵
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提交时间:2018/04/09
薄膜
薄膜表征
量子衍生遗传算法
掠入射x射线反射
Application of improved quantum evolutionary algorithm in design of broadband EUV multilayer
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 8
作者:
Kuang, S.-Q.
;
C. Zhang
;
Y.-M. Wang
;
X.-Y. Zhou and Y. Xie
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提交时间:2018/06/13
Design of Broad-Angle Extreme Ultraviolet Multilayer Coatings Based on Quantum Evolutionary Algorithm
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 6
作者:
Zhang, C.
;
J. Zhang
;
Y. Wang
;
S. Kuang and Y. Xie
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提交时间:2018/06/13
用于空间太阳望远镜的双波段极紫外反射镜
期刊论文
光电子.激光, 2014, 期号: 7, 页码: 1298-1302
作者:
刘震
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提交时间:2015/04/17
极紫外(Euv)
双波段多层膜
太阳望远镜
反射率
磁控溅射
软X射线Bragg-Fresnel二维聚焦镜的设计理论和方法
期刊论文
光学技术, 1997, 期号: 05, 页码: 9-11
作者:
乐孜纯
;
曹健林
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提交时间:2013/03/11
Bragg-fresnel元件
衍射图形
多层膜膜系