×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
登录
中文版
|
English
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
登录
注册
ALL
ORCID
题名
作者
学科领域
关键词
资助项目
文献类型
出处
收录类别
出版者
发表日期
存缴日期
学科门类
学习讨论厅
图片搜索
粘贴图片网址
首页
研究单元&专题
作者
文献类型
学科分类
知识图谱
新闻&公告
在结果中检索
研究单元&专题
作者
高劲松 [2]
杨海贵 [2]
李志来 [2]
鲍赫 [2]
杨会生 [2]
樊延超 [2]
更多...
文献类型
期刊论文 [12]
学位论文 [1]
发表日期
2018 [13]
语种
出处
Guangxue J... [3]
Hongwai yu... [2]
制造技术与机床 [2]
Chinese Op... [1]
Guangzi Xu... [1]
Optics and... [1]
更多...
资助项目
收录类别
EI [8]
资助机构
×
知识图谱
CIOMP OpenIR
开始提交
已提交作品
待认领作品
已认领作品
未提交全文
收藏管理
QQ客服
官方微博
反馈留言
浏览/检索结果:
共13条,第1-10条
帮助
限定条件
发表日期:2018
已选(
0
)
清除
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
提交时间升序
提交时间降序
WOS被引频次升序
WOS被引频次降序
作者升序
作者降序
期刊影响因子升序
期刊影响因子降序
题名升序
题名降序
发表日期升序
发表日期降序
分体式超大口径空间遥感器技术及其发展
期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 06, 页码: 1287-1298
作者:
杨会生
;
张学军
;
李志来
;
鲍赫
;
樊延超
收藏
  |  
浏览/下载:324/0
  |  
提交时间:2019/09/17
空间遥感器
超大口径
分体自重组系统
空间装调系统
空间制造系统
Design of miniaturization and super wide angle monitor lens based on monocentric lens
期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2018, 卷号: 47, 期号: 12
作者:
Meng, Xiangyue
;
Wang, Yang
;
Zhang, Lei
;
Fu, Yuegang
;
Gu, Zhiyuan
;
Lv, Yaowen
浏览
  |  
Adobe PDF(1590Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:419/116
  |  
提交时间:2019/09/17
Lenses
Diffraction
Image quality
Miniature instruments
Monitoring
Optical design
Optical systems
Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:
Kuang, Shang-Qi
;
Li, Shuo
;
Yang, Hai-Gui
;
Huo, Tong-Lin
;
Zhou, Hong-Jun
浏览
  |  
Adobe PDF(985Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:486/148
  |  
提交时间:2019/09/17
Multilayers
Extreme ultraviolet lithography
Fabrication
Mirrors
Reflection
大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究
学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
糜小涛
caj(5660Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:177/0
  |  
提交时间:2019/09/23
衍射光栅
光栅刻划机
微定位系统
控制器设计
刻线误差
测量系统
余弦误差
阿贝误差
大气折射率
衍射波前
基底面形误差
镀膜均匀性
Optical coatings for projection objective immersion lithography
期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:
Bi, Dan-Dan
;
Zhang, Li-Chao
;
Shi, Guang
浏览
  |  
Adobe PDF(2727Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:320/126
  |  
提交时间:2019/09/17
Optical films
Integrated circuit manufacture
Irradiation
Lithography
Optical coatings
Optical systems
揭秘“精密机械之王”
期刊论文
中国基础科学, 2018, 期号: 02, 页码: 48-52+62
作者:
唐玉国
;
巴音贺希格
;
竺长安
;
金一
收藏
  |  
浏览/下载:251/0
  |  
提交时间:2019/09/17
大面积光栅
刻划光栅
光栅刻划机
超精密制造
Design and Fabrication of Broadband Discrete Extreme-ultraviolet Multilayer Based on Quantum State Genetic Algorithm
期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2018, 卷号: 47, 期号: 4
作者:
Kuang, Shang-Qi
;
Zhang, Chao
;
Li, Shuo
;
Yang, Hai-Gui
;
Huo, Tong-Lin
;
Zhou, Hong-Jun
Adobe PDF(1699Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:482/118
  |  
提交时间:2019/09/17
Quantum theory
Fabrication
Genetic algorithms
Magnetron sputtering
Multilayers
Reflection
Sensitivity analysis of different scan arcs for swing arm profilometer test
期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2018, 卷号: 47, 期号: 2
作者:
Xiong, Ling
;
Luo, Xiao
;
Qi, Erhui
;
Zhang, Feng
;
Xue, Donglin
;
Zhang, Xuejun
浏览
  |  
Adobe PDF(724Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:396/140
  |  
提交时间:2019/09/17
Testing
Aspherics
Errors
Monte Carlo methods
Profilometry
Sensitivity analysis
Fabrication and testing of large aspheric system based on common reference
期刊论文
Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 4, 页码: 743-748
作者:
Wang Xiao-kun, 王孝坤
;
Xue Dong-lin, 薛栋林
;
Zhang Xue-jun, 张学军
浏览
  |  
Adobe PDF(577Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:400/120
  |  
提交时间:2019/09/17
Optical testing
Aspherics
Fabrication
Ion beams
Mirrors
残余应力与基底效应对光栅厚铝膜纳米压痕耦合影响研究
期刊论文
制造技术与机床, 2018, 期号: 06, 页码: 58-62
作者:
张宝庆
;
王占鹏
;
庞壮
;
韦赟杰
;
孙立华
;
高劲松
收藏
  |  
浏览/下载:200/0
  |  
提交时间:2019/09/17
残余应力
基底效应
纳米压痕
衍射光栅