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Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 46-53
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
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原子与分子物理学  分子动力学  反射  再溅射  Mo/Si原子  角度分布  能量分布  
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
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薄膜  Mo/Si多层膜  极紫外光刻  磁控溅射  表面粗糙度  功率谱密度  
用于高集成光谱技术的多层楔形薄膜滤光片研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  唐昊龙
caj(6547Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：130/0  |  提交时间：2020/08/24
光学薄膜  高集成光谱探测  楔形薄膜  膜系设计  离子束溅射  
离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 649-655
作者:  才玺坤;  张立超;  时光;  贺健康;  武潇野;  梅林
caj(317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：377/147  |  提交时间：2017/09/17
离子束溅射  应力  光学特性  膜厚均匀性  
光子计数成像探测器电荷感应层Ge薄膜特性研究 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4, 页码: 38-41
作者:  郑鑫;  陈波;  王孝东;  张宏吉;  李云鹏;  于再超
caj(1170Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：359/124  |  提交时间：2017/09/17
Ge薄膜  直流磁控溅射  Ar气通入量  沉积速率  电学性质  
2m大口径RB-SiC反射镜的磁控溅射改性 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 7, 页码: 1557-1563
作者:  刘震;  高劲松;  刘海;  王笑夷;  王彤彤
caj(893Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：512/120  |  提交时间：2017/09/17
光学加工  磁控溅射  表面改性  Rb-sic  大口径  
离子束溅射制备GdF_3光学薄膜沉积速率分布特性 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 3, 页码: 356-363
作者:  贺健康;  张立超;  才玺坤;  时光;  武潇野;  梅林
caj(320Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：314/86  |  提交时间：2017/09/17
离子束溅射  光学薄膜  沉积速率  二维拟合  膜厚均匀性  
长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展 期刊论文
硅酸盐通报, 2015, 期号: 12, 页码: 3556
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caj(74Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：289/98  |  提交时间：2016/07/06
高精度控制  应用光学  光机所  遗传算法  控制精度  面形误差  国家重点实验室  分布控制  磁控溅射  投影物镜  
离子束抛光高陡度离轴非球面的去除函数修正 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 06, 页码: 1572-1579
作者:  唐瓦;  邓伟杰;  李锐钢;  郑立功;  张学军
caj(398Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：272/112  |  提交时间：2016/07/06
光学制造  离轴非球面  离子束抛光  溅射效应  去除函数  
高色散系数线性渐变滤光片的研制 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 05, 页码: 1221-1226
作者:  张建;  高劲松;  李玉东
caj(407Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：303/106  |  提交时间：2016/07/06
线性渐变滤光片  双离子束溅射  色散  透过率  膜厚修正