中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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	一种针对超大口径凸非球面的面形检测方法期刊论文中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 05, 页码: 1147-1154 作者: 张海东; 王孝坤; 薛栋林; 张学军 caj(2273Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：246/78 \| 提交时间：2020/08/24 面形检测非球面像差补偿衍射光学元件
	光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性期刊论文光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268 作者: 姚长呈; 巩岩 caj(1449Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：306/148 \| 提交时间：2017/09/17 光学设计主动光学光刻物镜热像差补偿像散
	调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响期刊论文中国激光, 2014, 期号: 7, 页码: 291-298 作者: 张德福; 李显凌 caj(743Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：588/110 \| 提交时间：2015/04/17 光学器件深紫外光刻投影物镜像差补偿偏心调节机构调节力面形

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