Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种针对超大口径凸非球面的面形检测方法 | |
张海东; 王孝坤 ; 薛栋林; 张学军
| |
| 2019 | |
| 发表期刊 | 中国光学
 |
| 卷号 | 12期号:05页码:1147-1154 |
| 摘要 | 本文提出了一种改良的检测方法用于实现对超大口径凸非球面反射镜进行高精度的面形检测。该方法利用计算机再现全息和照明透镜混合补偿,实现对超大口径凸非球面的高精度检测。首先,对该方法的基本原理进行了分析和研究;然后,以一块口径为800 mm的超大口径凸非球面为例,进行了子孔径规划和检测光路中相关光学元件的设计;最后,以中心子孔径为例,系统分析了该检测装置的敏感度。仿真实验结果表明:计算全息补偿器的设计残差均方根值小于0. 001 3 nm,该检测系统的综合检测精度可以优于6 nm RMS。结果表明该检测系统满足超大口径凸非球面反射镜高精度面形检测的要求。 |
| 关键词 | 面形检测 非球面 像差补偿 衍射光学元件 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/63553 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张海东,王孝坤,薛栋林,等. 一种针对超大口径凸非球面的面形检测方法[J]. 中国光学,2019,12(05):1147-1154. |
| APA | 张海东,王孝坤,薛栋林,&张学军.(2019).一种针对超大口径凸非球面的面形检测方法.中国光学,12(05),1147-1154. |
| MLA | 张海东,et al."一种针对超大口径凸非球面的面形检测方法".中国光学 12.05(2019):1147-1154. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 一种针对超大口径凸非球面的面形检测方法.（2273KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [张海东]的文章 |
| [王孝坤]的文章 |
| [薛栋林]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [张海东]的文章 |
| [王孝坤]的文章 |
| [薛栋林]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [张海东]的文章 |
| [王孝坤]的文章 |
| [薛栋林]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论