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| 光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析 期刊论文 中国光学, 2017, 页码: 790-797 作者: 董世则; 郭抗; 李显凌; 陈华男; 张德福 caj(1307Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:401/122  |  提交时间:2018/04/09 光刻物镜 调节机构 狭缝柔性结构 刚度比 导向精度 |
| 光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计 期刊论文 光电工程, 2015, 期号: 06, 页码: 50-56 作者: 陈华男; 郭抗; 张玲花; 刘健; 尚红波 caj(1453Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:291/80  |  提交时间:2016/07/06 光刻投影物镜 X-y向柔性调节机构 减速机构 柔性铰链 |
| 膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进 期刊论文 光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 346-353 作者: 尚红波; 刘春来; 张巍; 陈华男 caj(1604Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:282/64  |  提交时间:2016/07/06 光学制造 投影光刻物镜 膜系 偏振像差 对比度 |
| 机器人足部柔性传感装置研究 期刊论文 电子测量与仪器学报, 2013, 期号: 09, 页码: 867-873 作者: 王绍治; 刘健; 张玲花; 陈华男 caj(263Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:440/140  |  提交时间:2014/03/07 柔性传感装置 足底倾角 力/力矩传感 信号调理 |
| 光学加工中真空夹具设计及分析 期刊论文 真空, 2013, 期号: 04, 页码: 78-82 作者: 陈华男; 李显凌; 孙振 caj(581Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:401/94  |  提交时间:2014/03/07 真空夹具 光学元件 防护层 光学加工 |
| 光学元件双转子抛光技术中类高斯型去除函数建模与逼近 期刊论文 光子学报, 2013, 期号: 03, 页码: 282-287 作者: 陈华男; 王君林; 李显凌; 王绍治 caj(653Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:483/89  |  提交时间:2014/03/07 双转子 离散点弧长 “花瓣”型截面磨头 曲线逼近 类高斯去除函数 |
| 超光滑加工技术中光学元件表面材料的均匀去除 期刊论文 光子学报, 2013, 期号: 04, 页码: 417-422 作者: 陈华男; 王君林; 刘健 caj(1466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:378/107  |  提交时间:2014/03/07 小磨头 超光滑加工 均匀去除 等值驻留时间 |