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一种光机系统结构稳定性评估方法 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 2, 页码: 124-128
作者:  郭本银;  谢耀;  于杰;  王丽萍;  苗亮
caj(1232Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：286/118  |  提交时间：2017/09/17
测量  长期稳定性  敏感矩阵  奇异值分解  
微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1
作者:  谢耀;  王丽萍;  郭本银;  王君;  苗亮;  王辉;  周烽
caj(532Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：384/143  |  提交时间：2017/09/17
成像系统  微缩投影系统  垂轴放大率测量  点衍射干涉仪  离焦  
六自由度微动并联机器人工作空间分析 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2015, 期号: 04, 页码: 1-5
作者:  郭本银;  刘钰;  苗亮
caj(1314Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：357/77  |  提交时间：2016/07/06
并联机器人  工作空间  数值法  逆解  
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  郭本银;  喻波
caj(491Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：568/206  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  光学设计  极紫外光刻  等效工作界面  多层膜  能量守恒