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高反射率13nmMo/Si多层膜 期刊论文
光学仪器, 2001, 期号: Z1, 页码: 149-153
作者:  刘毅楠;  马月英;  曹健林
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软x射线多层膜  原子力显微镜  离子束溅射镀膜  
氧离子辅助法沉积ITO透明导电膜的研究 期刊论文
光学精密工程, 2001, 期号: 02, 页码: 169-173
作者:  初国强;  王子君;  赵家民;  刘毅南;  刘云;  刘星元;  王立军
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离子辅助沉积  Ito膜  电子束  氧空位  原子力显微镜  
用锌金属有机源和二氧化碳等离子体增强化学气相沉积的方法制备高质量氧化锌薄膜 期刊论文
发光学报, 2000, 期号: 04, 页码: 383-384
作者:  楚振生;  李炳生;  刘益春;  申德振;  范希武;  刘毅南
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氧化锌  薄膜  等离子体增强化学气相沉积  
30.4nmSi/C多层膜反射镜的制备与测量 期刊论文
真空科学与技术, 2000, 期号: 06, 页码: 45-46
作者:  刘毅楠;  马月英;  斐舒;  尼启良;  胡卫兵;  曹健林
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软x射线多层膜  离子束溅射  二级衍射峰  
软X射线光学系统曲面镀膜膜厚测量方法 期刊论文
光学精密工程, 2000, 期号: 02, 页码: 124-127
作者:  刘毅楠;  马月英;  裴舒;  胡卫兵;  曹健林
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软x射线多层膜  曲面基片  误差分析  
X射线布拉格-菲涅耳光学元件的实验研究 期刊论文
光学学报, 1999, 期号: 07, 页码: 130-133
作者:  王占山;  马月英;  吕俊霞;  高宏刚;  刘毅楠;  裴舒;  曹健林;  徐向东;  洪义麟;  付绍军
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X射线布拉格－菲涅耳光学元件  多层膜  波带片  离子束刻蚀  
软X射线接触式显微术研究 期刊论文
光学精密工程, 1999, 期号: 02, 页码: 27-33
作者:  刘毅楠;  王占山;  李哲;  曹健林;  林宜平
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软x射线接触式显微术  生物样品  抗蚀膜  显影条件  曝光量  
用光学全息方法研制软X射线Bragg-Fresnel光学元件 期刊论文
真空科学与技术, 1999, 期号: 01, 页码: 68-71
作者:  王占山;  马月英;  吕俊霞;  高宏刚;  刘毅楠;  裴舒;  曹健林;  徐向东;  洪义麟;  付绍军
caj(36Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：511/86  |  提交时间：2013/03/11
软x射线bragg-fresnel光学元件  多层膜  波带片  离子束刻蚀  
用接触式显微术方法研究软X射线光刻胶特性 期刊论文
微细加工技术, 1998, 期号: 02, 页码: 43-46
作者:  王占山;  刘毅楠;  曹健林
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接触式显微术  光刻胶  溶解速率  
软 X 射线接触式显微术抗蚀膜显影条件分析 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 05, 页码: 74-78
作者:  刘毅楠;  王占山;  李哲;  曹健林;  林宜平
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软x射线接触式显微术  生物样品  抗蚀膜  显影条件