用锌金属有机源和二氧化碳等离子体增强化学气相沉积的方法制备高质量氧化锌薄膜

	用锌金属有机源和二氧化碳等离子体增强化学气相沉积的方法制备高质量氧化锌薄膜
	楚振生; 李炳生; 刘益春; 申德振; 范希武; 刘毅南
	2000-12-15
发表期刊	发光学报
期号	04 页码:383-384
关键词	氧化锌薄膜等离子体增强化学气相沉积
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30735
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	楚振生,李炳生,刘益春,等. 用锌金属有机源和二氧化碳等离子体增强化学气相沉积的方法制备高质量氧化锌薄膜[J]. 发光学报,2000(04):383-384.
APA	楚振生,李炳生,刘益春,申德振,范希武,&刘毅南.(2000).用锌金属有机源和二氧化碳等离子体增强化学气相沉积的方法制备高质量氧化锌薄膜.发光学报(04),383-384.
MLA	楚振生,et al."用锌金属有机源和二氧化碳等离子体增强化学气相沉积的方法制备高质量氧化锌薄膜".发光学报 .04(2000):383-384.