Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 氧离子辅助法沉积ITO透明导电膜的研究 | |
初国强; 王子君; 赵家民; 刘毅南; 刘云; 刘星元 ; 王立军
| |
| 2001-04-30 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 02页码:169-173 |
| 关键词 | 离子辅助沉积 Ito膜 电子束 氧空位 原子力显微镜 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28540 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 初国强,王子君,赵家民,等. 氧离子辅助法沉积ITO透明导电膜的研究[J]. 光学精密工程,2001(02):169-173. |
| APA | 初国强.,王子君.,赵家民.,刘毅南.,刘云.,...&王立军.(2001).氧离子辅助法沉积ITO透明导电膜的研究.光学精密工程(02),169-173. |
| MLA | 初国强,et al."氧离子辅助法沉积ITO透明导电膜的研究".光学精密工程 .02(2001):169-173. |
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| 氧离子辅助法沉积ITO透明导电膜的研究.（120KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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