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30.4nmSi/C多层膜反射镜的制备与测量 期刊论文
真空科学与技术, 2000, 期号: 06, 页码: 45-46
作者:  刘毅楠;  马月英;  斐舒;  尼启良;  胡卫兵;  曹健林
caj(18Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：399/73  |  提交时间：2013/03/11
软x射线多层膜  离子束溅射  二级衍射峰  
软X射线光学系统曲面镀膜膜厚测量方法 期刊论文
光学精密工程, 2000, 期号: 02, 页码: 124-127
作者:  刘毅楠;  马月英;  裴舒;  胡卫兵;  曹健林
caj(68Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：431/66  |  提交时间：2013/03/11
软x射线多层膜  曲面基片  误差分析  
采用多层膜偏光器的EUV实验室Farady旋光测量装置(英文) 期刊论文
光学仪器, 1999, 期号: Z1, 页码: 218-222
作者:  胡卫兵;  羽多野忠;  渡边诚
caj(124Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：395/58  |  提交时间：2013/03/11
Euv多层膜  Faraday旋转  偏光器