Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 30.4nmSi/C多层膜反射镜的制备与测量 | |
刘毅楠; 马月英; 斐舒; 尼启良 ; 胡卫兵; 曹健林
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| 2000-12-05 | |
| 发表期刊 | 真空科学与技术
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| 期号 | 06页码:45-46 |
| 关键词 | 软x射线多层膜 离子束溅射 二级衍射峰 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32054 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘毅楠,马月英,斐舒,等. 30.4nmSi/C多层膜反射镜的制备与测量[J]. 真空科学与技术,2000(06):45-46. |
| APA | 刘毅楠,马月英,斐舒,尼启良,胡卫兵,&曹健林.(2000).30.4nmSi/C多层膜反射镜的制备与测量.真空科学与技术(06),45-46. |
| MLA | 刘毅楠,et al."30.4nmSi/C多层膜反射镜的制备与测量".真空科学与技术 .06(2000):45-46. |
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