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30.4nmSi/C多层膜反射镜的制备与测量 期刊论文
真空科学与技术, 2000, 期号: 06, 页码: 45-46
作者:  刘毅楠;  马月英;  斐舒;  尼启良;  胡卫兵;  曹健林
caj(18Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：415/75  |  提交时间：2013/03/11
软x射线多层膜  离子束溅射  二级衍射峰