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30.4nmSi/C多层膜反射镜的制备与测量 期刊论文
真空科学与技术, 2000, 期号: 06, 页码: 45-46
作者:  刘毅楠;  马月英;  斐舒;  尼启良;  胡卫兵;  曹健林
caj(18Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：427/76  |  提交时间：2013/03/11
软x射线多层膜  离子束溅射  二级衍射峰  
用光学全息方法研制软X射线Bragg-Fresnel光学元件 期刊论文
真空科学与技术, 1999, 期号: 01, 页码: 68-71
作者:  王占山;  马月英;  吕俊霞;  高宏刚;  刘毅楠;  裴舒;  曹健林;  徐向东;  洪义麟;  付绍军
caj(36Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：448/67  |  提交时间：2013/03/11
软x射线bragg-fresnel光学元件  多层膜  波带片  离子束刻蚀