Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 软 X 射线接触式显微术抗蚀膜显影条件分析 | |
刘毅楠; 王占山; 李哲 ; 曹健林; 林宜平
| |
| 1997-10-30 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 05页码:74-78 |
| 关键词 | 软x射线接触式显微术 生物样品 抗蚀膜 显影条件 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32041 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘毅楠,王占山,李哲,等. 软 X 射线接触式显微术抗蚀膜显影条件分析[J]. 光学精密工程,1997(05):74-78. |
| APA | 刘毅楠,王占山,李哲,曹健林,&林宜平.(1997).软 X 射线接触式显微术抗蚀膜显影条件分析.光学精密工程(05),74-78. |
| MLA | 刘毅楠,et al."软 X 射线接触式显微术抗蚀膜显影条件分析".光学精密工程 .05(1997):74-78. |
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