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掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 3, 页码: 469-476
作者:  杨旺;  黄玮;  尚红波
caj(1563Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：280/89  |  提交时间：2017/09/17
光刻  光学设计  光刻投影物镜  畸变  勒让德多项式  公差分析  
点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 855-862
作者:  代晓珂;  金春水;  于杰
caj(651Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：386/119  |  提交时间：2015/04/17
光学检测  点衍射干涉仪  波面参考源  误差研究  公差分析  
光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 09, 页码: 235-239
作者:  杨旺;  黄玮;  许伟才;  尚红波
caj(1531Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：541/118  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  杂散光  功率谱密度  公差分析  光刻物镜  
多光谱相机光学系统公差分析与研究 期刊论文
光学与光电技术, 2013, 期号: 04, 页码: 67-71
作者:  王红;  胡忠
caj(629Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：508/165  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  公差分析  多光谱相机  离轴三反系统