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光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 633-638
作者:  张成山;  孟庆孔
caj(242Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：290/68  |  提交时间：2015/04/17
光电式光栅刻划机  衍射光栅干涉仪  莫尔条纹  
光栅机械刻划摩擦型颤振机理 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 11, 页码: 3061-3066
作者:  石广丰;  吕杨杨;  史国权;  吉日嘎兰图;  肖为
caj(690Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：327/123  |  提交时间：2015/04/17
光栅  机械刻划  摩擦型颤振  稳定性分析  
光栅刻划系统等速凸轮机构设计 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 5, 页码: 511-515
作者:  宋楠
caj(323Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：267/73  |  提交时间：2015/04/17
等速凸轮  光栅刻划  振动  
光栅刻划刀架系统的运行精度对光栅光谱性能的影响 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2674-2682
作者:  杨超;  于海利;  冯树龙;  李晓天;  齐向东;  姜珊;  唐玉国
caj(448Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：465/139  |  提交时间：2015/04/17
刻划刀架  刻划光栅  刻线弯曲  刻线位置误差  光栅光谱  
光栅刻划机工作台导轨结构形式选择及试验 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 5, 页码: 506-510
作者:  冯树龙
caj(255Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：345/105  |  提交时间：2015/04/17
光栅刻划机  滚柱导轨  爬行  
光栅刻划机导向导轨支撑结构刚度优化设计 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 5, 页码: 495-499
作者:  姚雪峰;  糜小涛;  宋楠
caj(806Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：503/95  |  提交时间：2015/04/17
光栅刻划机  刚度  有限元分析  模态  
绝对式光栅尺母尺刻划曝光系统 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 7, 页码: 1814-1819
作者:  刘华;  卢振武;  熊峥;  王尧;  王鹤;  黄剑波;  谭向全;  孙强
caj(500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：370/146  |  提交时间：2015/04/17
绝对式光栅尺  光栅码道  母尺刻划  数字微镜器件  曝光头  计量光栅  
光栅刻划机300mm行程工作台研制及其自适应控制方法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 6, 页码: 175-182
作者:  李晓天;  于海利;  齐向东;  朱继伟;  于宏柱;  巴音贺希格
caj(724Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：386/116  |  提交时间：2015/04/17
光栅  光栅刻划机  宏微两级工作台  Bp神经网络  Pid控制  自适应控制  
中阶梯光栅刻划刀具抗磨损设计 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 2, 页码: 301-306
作者:  吉日嘎兰图
caj(466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：305/101  |  提交时间：2015/04/17
中阶梯光栅  光栅刻划刀具  抗磨损设计  
绝对式光栅尺母光栅刻划装置的设计 期刊论文
机电产品开发与创新, 2014, 期号: 2, 页码: 108-109+79
作者:  郑黎明;  谭向全
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绝对式光栅尺  母尺光栅  刻划装置  曝光光源