Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 绝对式光栅尺母光栅刻划装置的设计 | |
郑黎明 ; 谭向全
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| 2014-03-28 | |
| 发表期刊 | 机电产品开发与创新
 |
| 期号 | 2页码:108-109+79 |
| 摘要 | 简述了绝对式光栅尺母光栅刻划装置的设计方案。针对曝光光源均匀性、图案畸变、精确放大倍率等难点问题,设计了刻划装置的专业装调方案。同时利用刻划装置的物理样机进行曝光加工,得到了满足设计要求的母光栅码道图案。 |
| 关键词 | 绝对式光栅尺 母尺光栅 刻划装置 曝光光源 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43602 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑黎明,谭向全. 绝对式光栅尺母光栅刻划装置的设计[J]. 机电产品开发与创新,2014(2):108-109+79. |
| APA | 郑黎明,&谭向全.(2014).绝对式光栅尺母光栅刻划装置的设计.机电产品开发与创新(2),108-109+79. |
| MLA | 郑黎明,et al."绝对式光栅尺母光栅刻划装置的设计".机电产品开发与创新 .2(2014):108-109+79. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 绝对式光栅尺母光栅刻划装置的设计.caj（482KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 请求全文 | |||
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