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纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者:  刘兆武;  李文昊;  王敬开;  姜珊;  宋莹;  潘明忠;  巴音贺希格
caj(466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：361/102  |  提交时间：2017/09/17
激光干涉仪  纳米二维工作台  测量镜  面形误差  在线检测  
微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1
作者:  谢耀;  王丽萍;  郭本银;  王君;  苗亮;  王辉;  周烽
caj(532Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：331/116  |  提交时间：2017/09/17
成像系统  微缩投影系统  垂轴放大率测量  点衍射干涉仪  离焦  
极小孔径衍射波前测试分析 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2639-2644
作者:  邵晶;  马冬梅;  张海涛;  于杰;  周烽
caj(431Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：479/106  |  提交时间：2015/04/17
光学检测  点衍射干涉仪  相位复原  衍射波前  
基于光强自标定移相算法检测光学面形 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2007-2013
作者:  刘江;  苗二龙;  曲艺;  隋永新;  杨怀江
caj(229Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：409/146  |  提交时间：2015/04/17
菲佐干涉仪  波长移相  移相算法  光强自标定  面形检测  
数字横向剪切干涉仪相移技术 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 09, 页码: 2244-2251
作者:  何煦;  向阳
caj(1178Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：465/128  |  提交时间：2014/03/07
光学测量  波像差  相移式干涉仪  剪切干涉仪  柔性铰链  
用计算全息图校正非球面的畸变 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 08, 页码: 1929-1935
作者:  高松涛;  王高文;  张健;  隋永新;  杨怀江
caj(609Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：438/161  |  提交时间：2014/03/07
非球面检测  畸变校正  干涉仪  计算全息图