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航天CMOS相机动态画幅成像瞬时影像像旋分析 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 21, 页码: 84-92
作者:  王绍恩;  杨秀彬;  徐婷婷;  韩金良;  常琳;  岳炜
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成像系统  空间光学  动态成像  像旋  峰值信噪比  结构相似性  曝光时间  
扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹;  李文昊
caj(798Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：342/115  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光栅  扫描干涉场曝光  光束对准  曝光对比度  位置解耦  角度解耦  
阵列型紫外LED匀光照明系统设计 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 194-200
作者:  郝剑;  荆雷;  王尧;  卢振武;  孙强
caj(1514Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：421/158  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  紫外曝光  匀光照明  阵列  
扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 55-64
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  潘明忠;  李文昊;  宋莹
caj(3588Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：252/104  |  提交时间：2016/07/06
光栅  扫描干涉场曝光系统  干涉条纹周期测量  相位锁定  
扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  李文昊;  宋莹;  潘明忠
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：374/109  |  提交时间：2015/04/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  相位锁定  光栅周期  刻线误差  
全息光栅制作中光栅掩模形状随曝光量及干涉场条纹对比度的变化规律 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 03, 页码: 9-15
作者:  韩建;  巴音贺希格;  李文昊;  孔鹏
caj(589Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：605/184  |  提交时间：2013/03/11
光栅  曝光量  条纹对比度  占宽比  槽深