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| 电铸金属光栅中金属沉积过程的在线监测 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 03, 页码: 606-615
作者: 朱春霖; 胡昊; 焦庆斌; 谭鑫; 巴音贺希格
 caj(5217Kb) |  收藏 | 浏览/下载：126/33 | 提交时间：2020/08/24
金属光栅 在线监测 严格耦合波理论 占宽比 电流密度 能量损耗 |
| 小顶角平台硅中阶梯光栅光刻胶掩模制备工艺研究 期刊论文
长春工业大学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 288-292
作者: 焦庆斌
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紫外曝光 倒置热熔 硅中阶梯光栅 湿法刻蚀 |
| 全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 宋莹
Adobe PDF(5623Kb) | 收藏 | 浏览/下载：479/2 | 提交时间：2015/05/03
全息光栅曝光 扫描干涉场曝光 干涉条纹 移频式 静态相位锁定 动态相位锁定 Aom |
| 超声强化液固传质动力学模型与硅中阶梯光栅湿法刻蚀技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 焦庆斌
Adobe PDF(5377Kb) | 收藏 | 浏览/下载：276/1 | 提交时间：2014/08/21 |
| 亚波长介质光栅设计简化模式法的修正及相关研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 王斌
Adobe PDF(3606Kb) | 收藏 | 浏览/下载：363/2 | 提交时间：2014/08/21 |
| 太阳极紫外成像光谱仪光学系统研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 刘壮
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| 全息光栅制作中光栅掩模形状随曝光量及干涉场条纹对比度的变化规律 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 03, 页码: 9-15
作者: 韩建; 巴音贺希格; 李文昊; 孔鹏
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光栅 曝光量 条纹对比度 占宽比 槽深 |
