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外掩体与物镜间距对日冕仪渐晕的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 184-189
作者:  全薇;  张正正;  张红鑫;  孙明哲;  卜和阳;  王明晔
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成像系统  渐晕  渐晕补偿  外掩式日冕仪  距离  外掩体  支撑杆  
消谱线弯曲棱镜-光栅型成像光谱仪设计 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 245-252
作者:  陈洪福;  巩岩;  骆聪;  彭建涛
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光学设计  成像光谱仪  棱镜-光栅  谱线弯曲  体全息相位光栅  
两片式远距结构消热差红外物镜 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 250-255
作者:  张鑫;  乔彦峰;  朱明超;  何锋赟;  贾宏光
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光学设计  消热差设计  红外光学系统  两片式结构  远距式结构  
光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142
作者:  陈华;  苏东奇;  隋永新;  章明朝;  田伟;  杨怀江;  张巍
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成像系统  热像差  主动补偿  光刻机  投影物镜  
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  郭本银;  喻波
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成像系统  光学设计  极紫外光刻  等效工作界面  多层膜  能量守恒  
利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 228-233
作者:  赵阳;  王平;  赵磊;  刘春来;  华洋洋;  门树东
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几何光学  复杂系统装调  补偿量选择  奇异值分解  失调量向量  补偿量相关性  
投影物镜热效应的快速求解算法 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 7, 页码: 118-124
作者:  骆聪;  巩岩
caj(546Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：270/83  |  提交时间：2015/04/17
测量  热效应  温度场  镜面变形  多项式拟合  转换矩阵  
投影光刻物镜的计算机辅助装调 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 6, 页码: 206-211
作者:  赵菲菲;  唐剑宇;  黄玮;  许伟才
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光学设计  计算机辅助装调  投影光刻物镜  奇异值分解  畸变