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| 光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者: 糜小涛; 于海利; 于宏柱; 齐向东; 李晓天; 万秋华
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衍射光栅 阿贝误差 衍射波前 刻线位置误差 刻划机 |
| 碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 170-175
作者: 王依; 卢启鹏; 高云国
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薄膜 极紫外光刻 碳污染 清洗技术 反射率 |
| 移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 233-240
作者: 宋莹; 赵旭龙; 姜岩秀; 巴音贺希格; 齐向东
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全息 全息光栅 干涉条纹锁定 分束光栅 叠栅条纹 |
| 紧凑型中红外固体激光器散热性能分析 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 26-31
作者: 张阔; 于德洋; 何洋; 潘其坤; 陈飞; 李殿军
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激光器 固体激光器 温度分布 强制对流散热 热管 |
| 基于量子衍生遗传算法的光学薄膜结构分析 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 137-144
作者: 周祥燕; 张超; 匡尚奇; 龚学鹏; 杨海贵
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薄膜 薄膜表征 量子衍生遗传算法 掠入射x射线反射 |
| 氧气A吸收带偏最小二乘基线拟合方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 287-293
作者: 李晋华; 张敏娟; 张德龙
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光谱学 氧气a带 基线拟合 偏最小二乘回归 拟合不确定度 |
