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基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 347-355
作者:  张超;  张杰瑞;  王一名;  匡尚奇;  谢耀
caj(892Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：370/122  |  提交时间：2018/04/09
薄膜  多层膜设计  量子进化算法  宽角度极紫外多层膜  
极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418
作者:  王珣;  金春水;  李春;  匡尚奇
caj(1793Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：276/109  |  提交时间：2016/07/06
薄膜  极紫外保护层  直流反应磁控溅射  迟滞回线  
提高极紫外光谱纯度的多层膜设计及制备 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 10, 页码: 289-294
作者:  祝文秀;  金春水;  匡尚奇;  喻波
caj(902Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：542/128  |  提交时间：2013/03/11
薄膜  多层膜  光谱纯度  极紫外  
极紫外投影光刻原理装置的集成研究 期刊论文
光学学报, 2002, 期号: 07, 页码: 852-857
作者:  金春水;  马月英;  裴舒;  曹健林
caj(104Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：427/81  |  提交时间：2013/03/11
极紫外  极紫外投影光刻  多层膜反射镜  Schwarzschild物镜